影響精密平面磨床精度因素如下：

一、磨頭、頭架、尾座的等高度對工件尺寸精度的影響。磨頭、頭架、尾座的等高度誤差將使頭架、尾座中心連線與砂輪主軸軸線在空間發生偏移，此時磨出的工件表面將是一個雙曲面。

二、頭架、尾座中心連線對磨頭主軸軸線在水平面內的平行度誤差對工件尺寸精度的影響。當發生該項誤差時，精密平面磨床的工件外形將是一個錐體，即砂輪成角度磨削，表面有螺旋形磨紋。

三、精密平面磨床移動相對于機床導軌垂直度誤差對加工精度的影響。這項誤差的最終結果是使主軸軸線與頭架、尾座中心連線發生偏移，在磨軸肩端面時，將造成軸肩端面與工件軸線的垂直度誤差。磨外圓時，將影響表面粗糙度，產生螺旋形磨紋。